정전 용량 근접 센서

정전 용량 센서는 다양한 유형의 커패시터를 감지 요소로 사용하여 물리적 또는 기계적 수량을 커패시턴스 변경을 위한 변환 장치로 측정합니다. 사실, 그것은 변수 매개 변수와 커패시터입니다.

1) 좋은 온도 안정성

정전 용량 센서의 정전 용량 값은 일반적으로 저온 계수를 가진 재료를 선택하는 데 도움이되는 전극 재료와 독립적이며, 매우 적은 열을 생성하기 때문에 안정성에 거의 영향을 미치지 않습니다. 저항 센서는 구리 손실을 가지며 열로 인해 0드리프트를 생성하기 쉽습니다.

2) 간단한 구조

정전 용량 센서는 단순한 구조를 가지며 제조가 용이하며 높은 정확도를 보장합니다. 그것은 몇 가지 특별한 측정을 달성하기 위해 매우 작게 만들 수 있습니다; 고온, 강한 방사선 및 강한 자기장과 같은 열악한 환경에서 작동 할 수 있으며 큰 온도를 견딜 수 있습니다. 고압, 고충격, 과부하 등을 견딜 수 있습니다. 초고온 및 저압 차이를 측정할 수 있으며 자기 작용도 측정할 수 있습니다.

3) 좋은 동적 응답

전극을 가진 플레이트 사이의 정전기 매력은 매우 작기 때문에 (약 몇 10^(-5)N), 정전 용량 센서는 매우 적은 에너지를 필요로하고, 그 이동 가능한 부분은 매우 작고 얇은 만들 수 있기 때문에, 즉, 질량은 매우 가볍기 때문에, 그 자연 주파수는 매우 높기 때문에, 동적 응답 시간이 짧고, 여러 MHz의 주파수에서 작동할 수 있습니다. 동적 측정에 특히 적합합니다. 그리고 낮은 유전체 손실로 인해 더 높은 주파수로 구동 될 수 있으므로 시스템은 높은 작동 주파수를 가지고 있습니다. 고속 변경 매개 변수를 측정하는 데 사용할 수 있습니다.

4) 비접촉 측정 및 고감도

회전 샤프트의 진동 또는 편심의 비접촉 측정, 작은 볼 베어링의 방사형 클리어런스 등 비접촉 측정을 사용하는 경우 정전 용량 센서는 평균 효과가 있어 측정에 대한 작업피스의 표면 거칠기의 영향을 줄일 수 있습니다.

상기 장점 외에도 정전용량 센서는 전극을 가진 플레이트 사이에 매우 작은 정전기 어트랙션을 가지며, 필요한 입력 력과 입력 에너지는 매우 작기 때문에 매우 낮은 압력, 힘 및 작은 가속, 변위 등을 측정할 수 있습니다. 그것은 매우 민감한 만들 수 있습니다., 높은 해상도와 함께, 0.01μm 이하의 변위를 감지할 수 있습니다. 공기와 같은 낮은 유전체 손실로 인해, 교량 유형으로 차동 구조가 연결될 때 발생하는 제로 잔류물은 매우 작기 때문에 회로가 높은 배율을 수행할 수 있게 하고 계측기가 높은 감도를 갖도록 합니다.

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